合肥氣體材料在使用的時候需要通過氣體管道,這樣才能有效的避免氣體出現(xiàn)泄漏的情況,影響到氣體的使用,氣體管道發(fā)揮著十分重要的作用。那么氣體管道在設(shè)計的時候要把握哪些要點呢?下面小編就為大家簡單的介紹要一下。
要點一、對不同性質(zhì)的天然氣,要規(guī)劃一個獨立的供氣區(qū),一般分為三個區(qū):腐蝕性/有毒性氣體、可燃性氣體、惰性氣體區(qū)域,將同一天然氣濃度加強(qiáng)管理和可燃?xì)怏w區(qū),以專門規(guī)劃爆破墻和滲漏,如果空間不足,可以考慮。放置惰性氣體和有毒腐蝕性氣體區(qū)域。
要點二、管道設(shè)計需要考慮運輸距離,距離越長,成本越高,風(fēng)險越大,通常設(shè)計流量越合理,20mL/s,可燃?xì)怏w小于10mL/s,有毒/腐蝕性氣體小于8mL/s,在使用中設(shè)計該方面,需要考慮使用對等壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者管徑通常指向使用的1/4“~3/8”。
要點三、根據(jù)燃?xì)庠O(shè)備的分布情況,高純?nèi)細(xì)夤芫W(wǎng)不宜過大或過長,宜采用不封閉的環(huán)狀管道,在系統(tǒng)末端連續(xù)排放少量燃?xì)猓构芫W(wǎng)中始終有高純度氣體循環(huán),不會因“死區(qū)”而造成高純度氣體污染。
要點四、應(yīng)減少不流動氣體在管道中的“死區(qū)”,且不應(yīng)是盲管,在儲氣罐和氣體設(shè)備之間應(yīng)設(shè)置吹掃閥控制裝置和控制裝置,用于控制吹掃閥的開關(guān)順序和系統(tǒng),以保證供氣系統(tǒng)的安全,可靠運行,防止“死區(qū)”滯留污染物形成,降低氣體純度。
要點五、對于高純氣體純度要求不同的氣體設(shè)備,宜采用分級高純氣體輸送系統(tǒng),也可采用同一級輸送系統(tǒng),但在高純氣體設(shè)備附近設(shè)置終端氣體凈化裝置。
要點六、為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除應(yīng)配備必要的連續(xù)檢測儀器外,如水或氧雜質(zhì)含量測定儀等,還應(yīng)設(shè)置定期采樣的檢測取樣口,以便在規(guī)定的時間取樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。
要點七、在亞微米級集成電路生產(chǎn)中,要求提供10-9級高純氣體。為了保證末端氣體處理設(shè)備的氣體純度,應(yīng)提高氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定值內(nèi),通常在裝置前設(shè)置終端凈化裝置或終端高精度氣體過濾器。
綜上所述,在設(shè)計氣體管道的時候要對不同氣體的管道進(jìn)行分區(qū),管道要采用不封閉的環(huán)狀管道,針對不同的氣體在設(shè)計管道的時候要符合氣體的特點要求。