特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產品生產的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數量和質量與 發達國家相比，尚有較大差距；

 特種氣體分類：高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。滅菌特種氣體可殺滅細菌（及其內孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，是下游的行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“血液”。